“至于说EUV光源的问题,目前阿斯麦尔使用的方案是激光激发等离子体光源。
那我们能不能换一个方案,尝试利用同步辐射光源获得的EUV光源,来进行光刻呢?
毕竟上个世纪80年代就已经证实了,同步辐射光源确实能够产生EUV光源。”
江鹤的前面回复,直接给了梁梦淞非常大的振奋。
毕竟江鹤可是华夏首富,身价千亿。
愿意做出如此承诺,绝对是极大的信心加持。
不过当后面江鹤聊起EUV光源的时候,梁梦淞又忍不住挑了挑眉头。
他实在是没想到,江鹤居然会和他聊技术。
“同步辐射光源确实能产生EUV光源,但这个光线的功率,并不能达到EUV光刻量产的要求啊。”
作为一个资深芯片工程师,梁梦淞对于所有的EUV方案肯定都有所了解。
对于高能同步辐射光源,能够产生各种波长光源的性质,也自然是清楚的。
所以他没有任何犹豫,直接就回答了江鹤的疑问。
听到梁梦淞的回答,江鹤微微一笑,道:
“前不久,科大刚刚发布了一项研究。
电子束在绕过加速器时,受到磁场的作用,会形成一种名为‘微距束’的精细微结构。
再让这种微距束穿过激光,经由激光和电子缠绕的相互作用。
最后会形成一种稳态排列,科大将其称为‘稳态微距束’。
使用稳态微距束,就能用加速器产生高功率的稳态光线。
这个功率已经足够做到EUV光刻的量产。”
江鹤说的技术,自然就是由清华研究,2023年在中文互联网上爆火的SSMB-EUV技术。
肥城刚好就建设有国家同步辐射光源实验室,所以有了江鹤的刻意提点之后,很快就搞定了稳态微距束(SSMB)的理论研究。
只不过也仅仅只是理论研究罢了,至于使用这项技术来进行EUV光刻,那还差着十万八千里呢。
“……”
听完江鹤的解释,梁梦淞陷入了沉默。
看他的样子,已经在思考这项技术的可行性。
不知道过了多长时间,梁梦淞才回过神来。
“如果真的能够获得大功率EUV光源,这确实是一套能够逻辑自洽的解决方案。
只不过这样一来,完全是将目前的芯片工艺,换成了另外一种形式。
这背后涉及到的技术难题,恐怕并不会比目前的EUV光氪机简单到哪里去。
毕竟,国内甚至连干式步进投影光氪机,都没办法量产。”
梁梦淞缓缓开口道,语气中透露着一丝无奈。
“唉梁博士,我都说了你不要有压力。
国产化肯定不是那么容易的事,我提出的这个方案,也只不过是提议罢了。
技术上慢慢研究就行,硅片的工艺极限也就是1纳米。
既然有极限,那哪怕我们现在确实落后,也不是没有追上的可能性。”
江鹤摆了摆手,笑着说道。
“江董你放心,我会尽全力去解决遇到的所有技术难题。”
梁梦淞神情振奋地说道。
江鹤的方案,确实给他带来了不小的惊喜。
如果真的能使用这个新的方案,搞定EUV光氪机,那他梁梦淞的名字,必然会被记录在科技发展的里程碑之上。
“梁博士,你有这个心就好,不用着急,一步一步来就行。
对了,之前让你联系张京汝博士,有什么结果吗?”
江鹤话锋一转,笑着问道。
梁梦淞闻言,微微一笑道:
“根本就不需要我去联系,我从湾积电离职的消息传出去之后。
张老就第一时间,来邀请我加入中新国际了。”
“张老已经联系过你了?”
江鹤闻言,也不由得兴奋起来,“梁博士,你有没有尝试一下邀请张老加盟?”
梁梦淞的优势是在于技术实力,只要有他在,芯片制程就不会陷入瓶颈。
而张京汝的优势,则是在于办厂。
从当年的德州仪器,再到世大,再到现在的中新国际。
张京汝早已总结了丰富的办厂经验。
从他仅仅用了短短6年的时间,就将中新国际的规模提升到全球第三。
已经能看的出,张京汝在办厂方面的实力,究竟是有多恐怖。
如果能得到张京汝的加盟,必定能再一次复刻中新国际的奇迹。
而要是梁梦淞与张京汝真能达成合作,那在20纳米之前的时代超越湾积电,不过是手拿把掐的事。
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