林语靠在椅子上，双手抱肩，继续说道

“我刚刚所说的是第一组的科研方向，现在我来说说第二组的科研方向。”

在座的众人再次被震惊，因为老板刚刚提出的方案都是闻所未闻的，而此刻老板竟然还要提出新的方案，这多少让他们有些难以置信，但同时也对这个新老板佩服的五体投地。

“第二种叫做固态DUV(深紫外)激光。”

刘成林和王乾伟两人的心砰砰的乱跳着，因为现在的主流设计方向是干式光刻机，老板刚刚提出了给沉浸式光刻机理念，而现在又提出一种更加没有听说过的固态DUV(深紫外)激光，这些概念都是谁想出来的呢？而老板又是怎么获得的。

以他们对市场现状的了解，目前这种概念还从来没有出现过。

只听林语扫视了一眼众人，说道

“别光顾着惊讶，记下来。”

刘成林和王乾伟低下了头，准备好了记录。

“固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光。”

刘成林就像是学生一样，这次他没有直接发问，而是举起了手。

“刘主任，你说。”林语看到后直接说道。

“老板，什么是相干光？”刘成林询问道。

“具体的我也不是很清楚，但是我可以给你们一个大概，你们按照这种方式去做科研，我相信你们”

“老板您说。”

“可以采用氟化氙(ArF)准分子激光技术，通过氩、氟气体的混合物在高压电场下生成不稳定分子，释放出193nm波长的光子，然后以高能量的短脉冲形式发射，频率在8k-9kHz，这是一种方式。”

“老板，什么意思？还有另外一种方式吗？”刘成林已经被惊到了。

林语点了点头，笑着说道